會議論文
學年 | 94 |
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學期 | 1 |
發表日期 | 2005-11-01 |
作品名稱 | 以互補式金氧半標準積體電路製程及後加工程序製作50微米尺寸之力感測器 |
作品名稱(其他語言) | |
著者 | 廖威豪; 許竣為; 王信雄; 楊龍杰; Yang, Lung-jieh |
作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
出版者 | |
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語言 | zh_TW |
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會議性質 | |
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出版型式 | |
出處 | 第九屆奈米工程暨微系統技術研討會 |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/38094 ) |