Vacuum-chamber type capacitive micro pressure sensor using CMOS-MEMS
學年 114
學期 1
發表日期 2025-08-20
作品名稱 Vacuum-chamber type capacitive micro pressure sensor using CMOS-MEMS
作品名稱（其他語言）
著者 C. Tasupalli, D.-Y. Jiang, W.-C. Wang, L.-J. Yang
作品所屬單位
出版者
會議名稱 ICIUS2025
會議地點 Bali, Indonesia
摘要
關鍵字
語言 en
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點 無
研討會時間 20250820~20250822
通訊作者
國別 IDN
公開徵稿
出版型式
出處 Proc. of ICIUS 2025