會議論文
| 學年 | 89 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 發表日期 | 2000-11-13 |
| 作品名稱 | ANSYS應用於微型壓力感測器之性能評估 |
| 作品名稱（其他語言） | The Application for Estimated of Micro Pressure Sensor in ANSYS |
| 著者 | 鄭金郎; 楊龍杰; 康尚文; 曾信傑; 郭柏甫; 黃志豪 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | |
| 會議名稱 | 2000年第六屆台灣地區ANSYS研討會=2000 ANSYS Taiwan User's Conference |
| 會議地點 | 臺北市, 臺灣 |
| 摘要 | 本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值，直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度。其結果可作為感測器製作前之性能評估。 |
| 關鍵字 | 微壓力感測器;有限元素分析;壓電阻性;整體微加工;靈敏度;惠斯登電橋;Micro Pressure Sensor;Finite Element Analysis;Piezoresistivity;Bulk Micromaching;Sensitivity;Wheatstone Bridge |
| 語言 | zh_TW |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | 國內 |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | 20001113~20001114 |
| 通訊作者 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | Y |
| 出版型式 | 紙本 |
| 出處 | 2000年第六屆台灣地區ANSYS論文集=2000 ANSYS Taiwan User's Conference，頁311-318 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/96350 ) |