會議論文
| 學年 | 93 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 發表日期 | 2004-12-03 |
| 作品名稱 | Non-Uniformity of Wafer and Pad in CMP: Kinematic Aspects of View |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 田豐 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學航空太空工程學系 |
| 出版者 | 臺北市：臺灣大學 |
| 會議名稱 | 第二十八屆中華民國全國力學學會年會暨全國力學研討會 |
| 會議地點 | 臺北市, 臺灣 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | en |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | 國內 |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | 20041203~20041204 |
| 通訊作者 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | Y |
| 出版型式 | |
| 出處 | 第二十八屆中華民國全國力學學會年會暨全國力學研討會論文集 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/62479 ) |